奥宾(德语:)是奥宾德国巴伐利亚州的一个市镇。人口密度90人/平方公里。奥宾总人口3937人,奥宾 参见 巴伐利亚州市镇列表 参考 巴伐利亚州市镇奥宾总面积43.75平方公里,奥宾女性1994人(2011年12月31日),奥宾



3月12日讯 欧冠1/8决赛首回合,皇马3-0战胜曼城。赛后在接受采访时,皇马门将库尔图瓦表示,次回合任何事情都可能发生,球队必须保持专注。
关于本场比赛
——这只是两回合的一半,但我对球队的表现非常满意,我们的强度、努力和相互支持都非常出色。我们不会因为伤病找借口,我们会战斗到最后一刻。这是一个不错的比分,但只是一小步。我记得在伊蒂哈德球场我们也曾遭遇过失败,任何事情都有可能发生,我们必须保持专注。
关于巴尔韦德的表现
——我非常高兴。巴尔韦德速度很快,身体强壮,争顶能力强,射门也很出色……他是一名非常全面的球员。我们在训练中特意演练了利用对方防线身后空间的战术,效果非常好。特别是第三个进球非常漂亮,我为他感到非常高兴。
关于他为巴尔韦德的第一个进球送上的助攻
——他们知道我脚下技术好,传球范围大,今天我们充分利用了这一点。面对高位防守的球队时,这样的传球更容易奏效。但在西甲,大多数球队都采用收缩防守,不过今天我的传球和巴尔韦德的进球展示了我们的能力。
关于扑救奥赖利的射门
——我们试图寻找第三名球员,所以我把球传给了蒂亚戈·皮塔奇,但我们身后的压力很大。他是喜欢控球的球员……在训练中这种情况经常发生,不仅仅是他,有时候他们会纠缠在一起然后射门。最终我反应迅速,因为我觉得可能会出问题,于是用腿挡住了球。
关于防守角球的计划
——我们的计划是不丢球。他们的身高优势明显,而我们的平均身高只有1.75米或1.80米。我们防守得很好。有一次他们在背后挡住了我,但裁判意识到了。下周他们肯定会尝试新的战术,因为在第一个角球时,塞梅尼奥滑倒了,但他当时是独自一人。这些都是我们需要研究的东西。
关于维尼修斯的点球
——这很遗憾,但足球就是这样,总是有“如果”,他们也有可能进一个球。显然,这很可惜。3-0已经是一个很好的结果了,如果维尼修斯罚进点球,比赛也可能会以4-1结束。这就是足球。最终比分是3-0,我们知道次回合会很艰难,我们将全力以赴争取晋级。
关于球队的稳定性
——我们需要反思自己,因为我们并不总能像今天这样,从一开始就充满强度、集中注意力并全身心投入比赛。这是我们有些比赛中需要改变的地方。此外,很多球队在对阵我们时都会采取收缩防守,我们并不总能找到空间。这是我们需要改进的地方。今天曼城进攻非常猛烈,而维尼修斯、巴尔韦德和布拉欣·迪亚斯在中场之间的配合让我们快速找到了空间,这种机会在西甲并不多见。
这是球队本赛季的最佳表现吗?
——可能是的。这肯定是最好的比赛之一。主场对阵巴萨的比赛也很出色,我们还有一些不错的客场比赛。我们需要记住这场比赛,在赛季剩余的时间里保持这种状态,并强势结束。
阿韦洛亚称巴尔韦德是“21世纪的华尼托”
——我没有看过华尼托的比赛,所以无法评价。他是一位传奇球员,巴尔韦德也是俱乐部的传奇,我为他的表现和付出感到高兴,希望他能在对阵埃尔切的比赛中恢复。
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3月12日讯 欧冠1/8决赛首回合,皇马3-0战胜曼城。赛后在接受采访时,皇马门将库尔图瓦表示,次回合任何事情都可能发生,球队必须保持专注。
关于本场比赛
——这只是两回合的一半,但我对球队的表现非常满意,我们的强度、努力和相互支持都非常出色。我们不会因为伤病找借口,我们会战斗到最后一刻。这是一个不错的比分,但只是一小步。我记得在伊蒂哈德球场我们也曾遭遇过失败,任何事情都有可能发生,我们必须保持专注。
关于巴尔韦德的表现
——我非常高兴。巴尔韦德速度很快,身体强壮,争顶能力强,射门也很出色……他是一名非常全面的球员。我们在训练中特意演练了利用对方防线身后空间的战术,效果非常好。特别是第三个进球非常漂亮,我为他感到非常高兴。
关于他为巴尔韦德的第一个进球送上的助攻
——他们知道我脚下技术好,传球范围大,今天我们充分利用了这一点。面对高位防守的球队时,这样的传球更容易奏效。但在西甲,大多数球队都采用收缩防守,不过今天我的传球和巴尔韦德的进球展示了我们的能力。
关于扑救奥赖利的射门
——我们试图寻找第三名球员,所以我把球传给了蒂亚戈·皮塔奇,但我们身后的压力很大。他是喜欢控球的球员……在训练中这种情况经常发生,不仅仅是他,有时候他们会纠缠在一起然后射门。最终我反应迅速,因为我觉得可能会出问题,于是用腿挡住了球。
关于防守角球的计划
——我们的计划是不丢球。他们的身高优势明显,而我们的平均身高只有1.75米或1.80米。我们防守得很好。有一次他们在背后挡住了我,但裁判意识到了。下周他们肯定会尝试新的战术,因为在第一个角球时,塞梅尼奥滑倒了,但他当时是独自一人。这些都是我们需要研究的东西。
关于维尼修斯的点球
——这很遗憾,但足球就是这样,总是有“如果”,他们也有可能进一个球。显然,这很可惜。3-0已经是一个很好的结果了,如果维尼修斯罚进点球,比赛也可能会以4-1结束。这就是足球。最终比分是3-0,我们知道次回合会很艰难,我们将全力以赴争取晋级。
关于球队的稳定性
——我们需要反思自己,因为我们并不总能像今天这样,从一开始就充满强度、集中注意力并全身心投入比赛。这是我们有些比赛中需要改变的地方。此外,很多球队在对阵我们时都会采取收缩防守,我们并不总能找到空间。这是我们需要改进的地方。今天曼城进攻非常猛烈,而维尼修斯、巴尔韦德和布拉欣·迪亚斯在中场之间的配合让我们快速找到了空间,这种机会在西甲并不多见。
这是球队本赛季的最佳表现吗?
——可能是的。这肯定是最好的比赛之一。主场对阵巴萨的比赛也很出色,我们还有一些不错的客场比赛。我们需要记住这场比赛,在赛季剩余的时间里保持这种状态,并强势结束。
阿韦洛亚称巴尔韦德是“21世纪的华尼托”
——我没有看过华尼托的比赛,所以无法评价。他是一位传奇球员,巴尔韦德也是俱乐部的传奇,我为他的表现和付出感到高兴,希望他能在对阵埃尔切的比赛中恢复。
" class="thumb" />库尔图瓦:训练中演练了利用对手身后空间 下周曼城会有新战术2026-06-04 00:48没有常见的觥筹交错、喧闹抽奖,取而代之的是《唱支山歌给党听》的深情旋律、是《红心领航 逐梦前行》的铿锵朗诵、是百名员工《团结就是力量》的豪迈誓言……这是新年伊始舒城经济开发区新胜源纸品“红心领航 共赴远方”2025红色年会上的一幕。
这场不一样的企业年会,折射出舒城经济开发区非公党建工作的丰硕成果与崭新气象。截至2025年底,舒城经济开发区已建立非公企业党组织148个、社会组织支部2个,重点企业党组织覆盖率突破80%,非公党建成为引领企业爬坡过坎、创新发展的“红色引擎”。
从“有形覆盖”到“有效覆盖”
近年来,舒城经济开发区持续强化对非公党建的指导,推动党建工作与企业发展同频共振、深度融合,让党建引领从“有形覆盖”向“有效覆盖”转变。
以新胜源纸品为例,这家深耕制造业18年的民营企业,逐步探索出“党建+经营+文化”三位一体的融合模式,将“红心领航”确立为核心战略。“在新胜源,我们始终坚信党建强,企业才强。”董事长陈法波道出了舒城经济开发区众多非公企业的心声。2025年,在“红色引擎”驱动下,新胜源纸品生产总值同比增长15%,创历史新高。
2025年以来,舒城经济开发区新增非公企业党组织74个,组织覆盖率达82%,新增省级“三强三好”互联网企业党建优秀案例1家,市级“双强六好”党组织1家,3家企业党组织获县级以上表彰。在2025年度舒城县主导产业“龙舒工匠”推荐选树活动中,舒城经济开发区内有5名党员入选年度“龙舒工匠”,3名党员入选年度“龙舒工匠”培育对象。
构建“三位一体”党建新格局
舒城经济开发区党工委坚持问题导向,创新构建“党工委统筹—党建指导员下沉—企业党组织落实”的“三位一体”工作格局,精选32名专兼职党建指导员,实现重点企业党建指导全覆盖,精准对接企业党建与发展需求。
党建指导员通过制定《新兴领域党建工作标准化手册》,推动组织生活规范化、阵地建设标准化,确保各项党建制度落实落细。在此基础上,推动党建工作与企业生产深度融合,鼓励非公企业党组织围绕企业发展目标,开展党员先锋岗、党员责任区等创建活动,引导党员在技术创新、市场开拓、管理提升等关键领域发挥模范带头作用,将党建优势转化为企业的发展优势。目前,舒城经济开发区设立“党员先锋岗”47个、“党员责任区”23处,开展“金点子助企”活动,2025年收集技术革新、管理优化等建议89条,26条被采纳并产生经济效益。
在新胜源纸品,党员先锋岗成为技术攻坚的排头兵,一支由党员牵头的技术攻坚小组,成功完成3.15米高速智能生产线的调试与达产任务,使单线日产能提升至80万平方米。同时,“师带徒”机制传承红色工匠精神,累计培养一线技能人才110余人。实践证明:“红色引擎”正成为驱动传统制造业向高端化、智能化、绿色化迈进的强大动力。
党建与营商环境“双向赋能”
在舒城经济开发区,非公党建的发展与营商环境的优化逐渐形成了良性互动、协同共进。开发区持续深化“放管服”改革,打造“一站式”企业服务中心,实现项目审批时限压缩60%以上,建立全生命周期“项目管家”服务体系。2025年,通过“春风行动”等渠道为67家企业招工1200余人,协同金融机构解决企业融资难题,为兴宝羽绒等12家企业协调低息贷款超5000万元,解决企业历史遗留问题20项。
同时,企业将个体发展深度融入地方经济大局,实现政企“双向奔赴”。在新胜源纸品红色年会上播放的《中国舒城》专题片,展现舒城人文风貌与发展成就,赢得全场掌声。这也是企业饮水思源、反哺社会的生动注脚。新胜源纸品近五年累计纳税1.2亿元,提供稳定就业岗位550个,本地劳动力占比达75%。
不仅如此,新胜源纸品还发挥链主企业作用,带动上下游配套企业协同发展,协助解决融资、物流、用工等问题,助力产业链整体升级。2025年,其供应商中来自皖西地区的中小企业订单增幅达31%,真正实现了“一家强带动一片兴”。
“红色引擎”助企奔赴山海
新胜源纸品党建强企的生动实践并非孤例。在舒城经济开发区,一批批非公企业在“红色引擎”驱动下破浪前行,胜利精密、英力电子、联科表面处理、巅峰科建、绿荣虹茂制造、圣桂食品、夏星食品、华银茶油等重点企业,在“红色引擎”的驱动下,以党建赋能企业高质量发展,均实现了稳定增长、转型升级。
2025年,舒城经济开发区新申报高新技术企业24家、专精特新企业9家,培育科技型中小企业203家,省级专精特新“小巨人”企业增至4家,电子信息产业集群连续两年位列全省特色产业集群先进位次。2025年,实现规上工业总产值325.83亿元,同比增长10.3%,完成固定资产投资32亿元,增速18.2%。
“我们将深入实施‘红色根脉强基工程’,力争到2027年实现‘五个全覆盖’,锚定‘合肥之门 创智港城’定位,以‘12341’发展战略为引领,奋力绘就高质量发展新图景。”舒城县委常委、开发区党工委书记、管委会主任姜文龙表示。
(汤格 张孟舒)
没有常见的觥筹交错、喧闹抽奖,取而代之的是《唱支山歌给党听》的深情旋律、是《红心领航 逐梦前行》的铿锵朗诵、是百名员工《团结就是力量》的豪迈誓言……这是新年伊始舒城经济开发区新胜源纸品“红心领航 共赴远方”2025红色年会上的一幕。
这场不一样的企业年会,折射出舒城经济开发区非公党建工作的丰硕成果与崭新气象。截至2025年底,舒城经济开发区已建立非公企业党组织148个、社会组织支部2个,重点企业党组织覆盖率突破80%,非公党建成为引领企业爬坡过坎、创新发展的“红色引擎”。
从“有形覆盖”到“有效覆盖”
近年来,舒城经济开发区持续强化对非公党建的指导,推动党建工作与企业发展同频共振、深度融合,让党建引领从“有形覆盖”向“有效覆盖”转变。
以新胜源纸品为例,这家深耕制造业18年的民营企业,逐步探索出“党建+经营+文化”三位一体的融合模式,将“红心领航”确立为核心战略。“在新胜源,我们始终坚信党建强,企业才强。”董事长陈法波道出了舒城经济开发区众多非公企业的心声。2025年,在“红色引擎”驱动下,新胜源纸品生产总值同比增长15%,创历史新高。
2025年以来,舒城经济开发区新增非公企业党组织74个,组织覆盖率达82%,新增省级“三强三好”互联网企业党建优秀案例1家,市级“双强六好”党组织1家,3家企业党组织获县级以上表彰。在2025年度舒城县主导产业“龙舒工匠”推荐选树活动中,舒城经济开发区内有5名党员入选年度“龙舒工匠”,3名党员入选年度“龙舒工匠”培育对象。
构建“三位一体”党建新格局
舒城经济开发区党工委坚持问题导向,创新构建“党工委统筹—党建指导员下沉—企业党组织落实”的“三位一体”工作格局,精选32名专兼职党建指导员,实现重点企业党建指导全覆盖,精准对接企业党建与发展需求。
党建指导员通过制定《新兴领域党建工作标准化手册》,推动组织生活规范化、阵地建设标准化,确保各项党建制度落实落细。在此基础上,推动党建工作与企业生产深度融合,鼓励非公企业党组织围绕企业发展目标,开展党员先锋岗、党员责任区等创建活动,引导党员在技术创新、市场开拓、管理提升等关键领域发挥模范带头作用,将党建优势转化为企业的发展优势。目前,舒城经济开发区设立“党员先锋岗”47个、“党员责任区”23处,开展“金点子助企”活动,2025年收集技术革新、管理优化等建议89条,26条被采纳并产生经济效益。
在新胜源纸品,党员先锋岗成为技术攻坚的排头兵,一支由党员牵头的技术攻坚小组,成功完成3.15米高速智能生产线的调试与达产任务,使单线日产能提升至80万平方米。同时,“师带徒”机制传承红色工匠精神,累计培养一线技能人才110余人。实践证明:“红色引擎”正成为驱动传统制造业向高端化、智能化、绿色化迈进的强大动力。
党建与营商环境“双向赋能”
在舒城经济开发区,非公党建的发展与营商环境的优化逐渐形成了良性互动、协同共进。开发区持续深化“放管服”改革,打造“一站式”企业服务中心,实现项目审批时限压缩60%以上,建立全生命周期“项目管家”服务体系。2025年,通过“春风行动”等渠道为67家企业招工1200余人,协同金融机构解决企业融资难题,为兴宝羽绒等12家企业协调低息贷款超5000万元,解决企业历史遗留问题20项。
同时,企业将个体发展深度融入地方经济大局,实现政企“双向奔赴”。在新胜源纸品红色年会上播放的《中国舒城》专题片,展现舒城人文风貌与发展成就,赢得全场掌声。这也是企业饮水思源、反哺社会的生动注脚。新胜源纸品近五年累计纳税1.2亿元,提供稳定就业岗位550个,本地劳动力占比达75%。
不仅如此,新胜源纸品还发挥链主企业作用,带动上下游配套企业协同发展,协助解决融资、物流、用工等问题,助力产业链整体升级。2025年,其供应商中来自皖西地区的中小企业订单增幅达31%,真正实现了“一家强带动一片兴”。
“红色引擎”助企奔赴山海
新胜源纸品党建强企的生动实践并非孤例。在舒城经济开发区,一批批非公企业在“红色引擎”驱动下破浪前行,胜利精密、英力电子、联科表面处理、巅峰科建、绿荣虹茂制造、圣桂食品、夏星食品、华银茶油等重点企业,在“红色引擎”的驱动下,以党建赋能企业高质量发展,均实现了稳定增长、转型升级。
2025年,舒城经济开发区新申报高新技术企业24家、专精特新企业9家,培育科技型中小企业203家,省级专精特新“小巨人”企业增至4家,电子信息产业集群连续两年位列全省特色产业集群先进位次。2025年,实现规上工业总产值325.83亿元,同比增长10.3%,完成固定资产投资32亿元,增速18.2%。
“我们将深入实施‘红色根脉强基工程’,力争到2027年实现‘五个全覆盖’,锚定‘合肥之门 创智港城’定位,以‘12341’发展战略为引领,奋力绘就高质量发展新图景。”舒城县委常委、开发区党工委书记、管委会主任姜文龙表示。
(汤格 张孟舒)
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" src="随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" class="thumb" />DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用2026-06-03 23:24中新网北京3月24日电 (记者 孙自法)中国科学院国家天文台3月24日向媒体通报,该台大科学装置郭守敬望远镜(大天区面积多目标光纤光谱天文望远镜,英文缩写LAMOST)最新发布的数据集包含光谱总数3082万余条,首次突破3000万条,继续稳居国际上发布光谱数量最多的巡天项目。
据中国科学院国家天文台LAMOST运行和发展中心介绍,当天面向国内天文学家与国际合作者发布的LAMOST DR13(v1.0版本)数据集,观测周期为2011年10月至2025年6月,覆盖6961个低分辨率观测天区、3404个中分辨率观测天区,3082万条光谱包括约1347万条低分辨率光谱和1735万条中分辨率光谱。此外,DR13发布数据中还包括一个约1294万组的恒星光谱参数星表。
LAMOST DR13的低分辨率(左)和中分辨率天区覆盖图。中国科学院国家天文台 供图郭守敬望远镜发布的光谱总数与恒星参数星表规模继续保持世界领先,整体科学产出处于国际同类大型天文望远镜的先进行列。国家天文科学数据中心还为LAMOST DR13数据发布搭建了基于全新架构的数据发布平台,支持国际虚拟天文台联盟等数据访问协议,科学用户可登录望远镜官方网站进行数据查询和下载,也可以直接下载所有科学数据产品。
截至目前,来自中国、美国、德国、比利时、丹麦等国家和地区的278所科研机构的1900多位用户正在利用LAMOST数据开展研究工作,已发表高质量论文2200余篇,引用2万余次。近年来,LAMOST年均发表论文数超过300篇,其中,国外天文学家发表的科学论文占40%以上,充分彰显LAMOST数据开放共享的国际影响力与科学价值,
作为中国首个天文类国家重大科技基础设施,郭守敬望远镜开创了国际大规模光谱巡天的先河,目前已高效稳定运行14年,获取光谱数据总量连续12年稳居全球首位,构建出世界上规模最大的光谱数据库,其3000万量级的光谱助力全球天文学家在银河系结构和演化方面进行了迄今最为系统化的研究,并在搜寻致密天体、恒星物理、系外行星及类星体等研究方面取得一系列突破性的原创成果。
这些成果主要包括:揭示银河系早期形成和演化历史、发现第一代超大质量恒星的化学遗迹、构建首幅覆盖全天的银河系三维尘埃消光规律图、揭示银河系初始质量函数变化规律、发现大质量恒星级黑洞和中等质量黑洞存在的证据及位于质量间隙的小质量黑洞、破解超短周期行星形成之谜并新发现1300多个银道面类星体等。
中国科学院国家天文台表示,郭守敬望远镜将以光谱巡天总数突破3000万为新起点,持续保持稳定、高效的运行状态,稳步推进技术升级改造与观测优化,不断凝练并拓展重大科学问题,为人类解读星河做出更多新的贡献。(完)
(资料图片)关节与天气的微妙关联
关节之所以能对天气变化做出反应,主要是因为关节内存在丰富的感受器。这些感受器如同一个个灵敏的侦察兵,时刻监测着关节的内部状态与外部环境的变化。当天气发生变化时,尤其是气压、气温和湿度出现较大波动时,关节周围的组织会随之发生物理和化学变化。这些变化刺激感受器,感受器便将信号通过神经传导至大脑,从而让我们感受到关节的不适。
气压改变是影响关节的重要因素之一。当气压降低时,关节腔内外的压力差增大,这会促使关节滑膜组织水肿,关节内的神经末梢受到刺激,就会引发疼痛。举个例子,在暴风雨来临前,气压通常会大幅下降,很多关节炎患者此时就会感觉到关节胀痛明显加剧。
气温骤降对关节的影响也不容小觑。寒冷会导致关节周围的血管收缩,血液循环减缓,关节周围的组织供血不足,代谢产物堆积,刺激神经末梢,可引发疼痛。此外,低温还会使关节周围的肌肉、韧带等组织的弹性降低,柔韧性变差,关节的活动阻力增大,进一步加重关节负担,导致疼痛加剧。
湿度的变化同样会对关节产生影响。高湿度环境会使关节周围的组织吸收更多水分,发生肿胀,对神经末梢造成压迫,从而产生疼痛感。对于本身就患有类风湿关节炎的人来说,高湿度环境可能会引发炎症反应,导致关节疼痛和僵硬症状加重。
特殊疾病患者会更敏感
对于患有骨性关节炎、类风湿关节炎、痛风性关节炎等疾病的人群来说,关节受天气变化的影响更大。
以骨性关节炎为例,这类患者的关节软骨已经出现磨损,关节边缘骨质增生,关节结构遭到破坏,关节周围的神经末梢更容易受到刺激。当天气变化时,关节内的压力、温度和湿度发生改变,会直接刺激到这些受损的部位,结果就是导致疼痛加剧。
类风湿关节炎是一种自身免疫性疾病,患者的关节滑膜会发生炎症反应,产生大量炎性介质。在天气变化时,身体的免疫系统会受到影响,炎性介质的分泌增加,进一步加重关节炎症,使关节疼痛、肿胀和僵硬等症状更加明显。
痛风性关节炎则是由于体内尿酸代谢异常,尿酸盐结晶沉积在关节内引起的。天气变化可能会影响尿酸盐的溶解度,导致结晶析出或溶解,从而刺激关节,引发疼痛。
来源:《大众健康》杂志
作者:上海交通大学医学院附属仁济医院骨关节外科主治医师 赵耀超 副主任医师 曲新华
审核:国家健康科普专家库成员、上海市老年医学中心(中山医院闵行院区)骨科主任医师 林红
标签: [db:关键词]
" src="每到阴雨天,有些老年人的膝关节就会隐隐作痛。气温骤降时,手指关节就可能酸胀难耐。更有甚者,感觉脊柱像被束缚住了一样,僵硬且疼痛。很多关节炎患者觉得自己的身体变化,比天气预报还能更准确地预测天气变化。难道关节真能未卜先知,充当“天气预报员”?作为骨关节外科医生,我们要为大家揭开这一现象背后的科学真相。
(资料图片)
关节与天气的微妙关联
关节之所以能对天气变化做出反应,主要是因为关节内存在丰富的感受器。这些感受器如同一个个灵敏的侦察兵,时刻监测着关节的内部状态与外部环境的变化。当天气发生变化时,尤其是气压、气温和湿度出现较大波动时,关节周围的组织会随之发生物理和化学变化。这些变化刺激感受器,感受器便将信号通过神经传导至大脑,从而让我们感受到关节的不适。
气压改变是影响关节的重要因素之一。当气压降低时,关节腔内外的压力差增大,这会促使关节滑膜组织水肿,关节内的神经末梢受到刺激,就会引发疼痛。举个例子,在暴风雨来临前,气压通常会大幅下降,很多关节炎患者此时就会感觉到关节胀痛明显加剧。
气温骤降对关节的影响也不容小觑。寒冷会导致关节周围的血管收缩,血液循环减缓,关节周围的组织供血不足,代谢产物堆积,刺激神经末梢,可引发疼痛。此外,低温还会使关节周围的肌肉、韧带等组织的弹性降低,柔韧性变差,关节的活动阻力增大,进一步加重关节负担,导致疼痛加剧。
湿度的变化同样会对关节产生影响。高湿度环境会使关节周围的组织吸收更多水分,发生肿胀,对神经末梢造成压迫,从而产生疼痛感。对于本身就患有类风湿关节炎的人来说,高湿度环境可能会引发炎症反应,导致关节疼痛和僵硬症状加重。
特殊疾病患者会更敏感
对于患有骨性关节炎、类风湿关节炎、痛风性关节炎等疾病的人群来说,关节受天气变化的影响更大。
以骨性关节炎为例,这类患者的关节软骨已经出现磨损,关节边缘骨质增生,关节结构遭到破坏,关节周围的神经末梢更容易受到刺激。当天气变化时,关节内的压力、温度和湿度发生改变,会直接刺激到这些受损的部位,结果就是导致疼痛加剧。
类风湿关节炎是一种自身免疫性疾病,患者的关节滑膜会发生炎症反应,产生大量炎性介质。在天气变化时,身体的免疫系统会受到影响,炎性介质的分泌增加,进一步加重关节炎症,使关节疼痛、肿胀和僵硬等症状更加明显。
痛风性关节炎则是由于体内尿酸代谢异常,尿酸盐结晶沉积在关节内引起的。天气变化可能会影响尿酸盐的溶解度,导致结晶析出或溶解,从而刺激关节,引发疼痛。
来源:《大众健康》杂志
作者:上海交通大学医学院附属仁济医院骨关节外科主治医师 赵耀超 副主任医师 曲新华
审核:国家健康科普专家库成员、上海市老年医学中心(中山医院闵行院区)骨科主任医师 林红
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" class="thumb" />微动态丨天气一变,为何关节就痛?2026-06-04 00:52
《堕落之主》于2023年10月13日登陆PlayStation 5、Xbox Series平台,并通过Steam和Epic Games Store在PC端发售。

其续作《堕落之主2》预计于2026年通过Epic Games Store登陆PlayStation 5、Xbox Series和PC平台。

《Lords of the Fallen》在相互连通的广袤世界中讲述了一段全新史诗角色扮演冒险之旅。漫长的时光过去,被人类击败的邪神阿迪尔即将卷土重来。化身为神话中的黑暗远征军,在这段宏大的角色扮演体验中,让阿迪尔永世不得超生。在两个平行国度中穿梭冒险,与庞大首领进行殊死战、面对瞬息万变的战斗,并沉浸在深刻的故事之中。
" src="发行商CI Games与开发商Hexworks宣布,于2023年发售的动作角色扮演游戏《堕落之主》(Lords of the Fallen)截至2月底,全球累计销量已突破250万份。

《堕落之主》于2023年10月13日登陆PlayStation 5、Xbox Series平台,并通过Steam和Epic Games Store在PC端发售。

其续作《堕落之主2》预计于2026年通过Epic Games Store登陆PlayStation 5、Xbox Series和PC平台。

《Lords of the Fallen》在相互连通的广袤世界中讲述了一段全新史诗角色扮演冒险之旅。漫长的时光过去,被人类击败的邪神阿迪尔即将卷土重来。化身为神话中的黑暗远征军,在这段宏大的角色扮演体验中,让阿迪尔永世不得超生。在两个平行国度中穿梭冒险,与庞大首领进行殊死战、面对瞬息万变的战斗,并沉浸在深刻的故事之中。
" class="thumb" />动作RPG《堕落之主》全球累积销量突破250万份2026-06-04 00:51
御兽岛卡牌养成游戏宠物养成策略回合制在御兽岛游戏中,新玩家登录七日即可在多个强力神兽中领取一个,部分玩家不知道选择什么比较好,下面就为大家带来御兽岛游戏中七日登录领取神兽的选择推荐,有需要的玩家可以参考。
御兽岛七日登录领取神兽选择
龙女:拥有『破魔斩』法师克星技能,PVP较为强力;

羊咩咩:『忘忧之术』团队利器,有它不怕控制;

罗马:唯一神兽前排,『护弱』克制横冲主,横石等技能;

可熊:较为均衡的输出,可召唤『熊伙伴』承伤;

启灵龙:也叫自杀龙,技能伤害系数较高,但是会扣自己血。

神兽各有优劣,没有废物和强力一说,玩家们可以根据不同神兽的特性和自身需求领取。
" src="发布时间:2026-03-24 15:48:25来源:逗游作者:星空
御兽岛卡牌养成游戏宠物养成策略回合制在御兽岛游戏中,新玩家登录七日即可在多个强力神兽中领取一个,部分玩家不知道选择什么比较好,下面就为大家带来御兽岛游戏中七日登录领取神兽的选择推荐,有需要的玩家可以参考。
御兽岛七日登录领取神兽选择
龙女:拥有『破魔斩』法师克星技能,PVP较为强力;

羊咩咩:『忘忧之术』团队利器,有它不怕控制;

罗马:唯一神兽前排,『护弱』克制横冲主,横石等技能;

可熊:较为均衡的输出,可召唤『熊伙伴』承伤;

启灵龙:也叫自杀龙,技能伤害系数较高,但是会扣自己血。

神兽各有优劣,没有废物和强力一说,玩家们可以根据不同神兽的特性和自身需求领取。
" class="thumb" />御兽岛七日登录领取神兽选择推荐2026-06-04 00:46在汉阴县退役军人服务中心,“光荣返乡、再启新程”“欢迎退伍老兵光荣返乡”等暖心标语格外醒目,一杯热茶、一句问候,让“最可爱的人”第一时间感受到家乡的温暖与尊崇。
汉阴县退役军人事务局严格落实“六个到位”“五个一”工作举措,通过线上平台发布报到须知、明确办事流程,安排专人答疑解惑,切实为退役士兵减负增效。在县退役军人服务中心报到现场,全面推行“一站式”服务,高效完成信息登记、档案接收、关系转接等业务办理,并同步开展优待政策宣讲,围绕就业创业、技能培训、学历提升、社保接续等内容精准解读、现场解惑,截至目前22名返乡士兵完成报到。
下一步,汉阴县退役军人事务局将精准对接退役士兵需求,持续深化服务举措,及时组织开展适应性培训等活动,全力护航退役士兵开启新的征程,为汉阴发展再立新功。
编辑:邱潮
编审:文婷 黄琪雅
终审:邹菲
" src="近日,汉阴县2026年春季退役士兵陆续告别军营、光荣返乡。为扎实做好春季退役士兵返乡服务保障工作,汉阴县退役军人事务局提前谋划、靠前服务,扎实做好报到接收工作,大力营造“参军光荣、退役荣耀”的浓厚氛围。
在汉阴县退役军人服务中心,“光荣返乡、再启新程”“欢迎退伍老兵光荣返乡”等暖心标语格外醒目,一杯热茶、一句问候,让“最可爱的人”第一时间感受到家乡的温暖与尊崇。
汉阴县退役军人事务局严格落实“六个到位”“五个一”工作举措,通过线上平台发布报到须知、明确办事流程,安排专人答疑解惑,切实为退役士兵减负增效。在县退役军人服务中心报到现场,全面推行“一站式”服务,高效完成信息登记、档案接收、关系转接等业务办理,并同步开展优待政策宣讲,围绕就业创业、技能培训、学历提升、社保接续等内容精准解读、现场解惑,截至目前22名返乡士兵完成报到。
下一步,汉阴县退役军人事务局将精准对接退役士兵需求,持续深化服务举措,及时组织开展适应性培训等活动,全力护航退役士兵开启新的征程,为汉阴发展再立新功。
编辑:邱潮
编审:文婷 黄琪雅
终审:邹菲
" class="thumb" />汉阴县2026年春季退役士兵 返乡报到工作有序开展2026-06-03 22:56
新眸